XYY对位平台的技术原理

  XYY对位系统平台 是一种通过精密的仪器，那下面就是我们提出来了解下关于XYY对位平台的技术工作原理是怎么样的吧。

  XYY对准平台包括移动所述对准模块固定板，所述移动板，X方向的装置，第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置，X方向移动装置，围绕第一和第二Y方向右移动装置和左Y方向移动，分别对应一对模块固定板的位置，所述移动板连接的活动的装置，还包括在所述对准模块的X方向提供了一种动力单元固定板，第一电源装置和第二Y-发电厂的方向Y方向，电厂以驱动X方向的X方向移动单元在X方向上往复移动，X方向移动装置的驱动器的移动板在X方向往复地位移，Y方向，第一电源装置驱动第一Y方向移动装置在Y方向上，往复运动，第一Y方向移动装置驱动移动板在Y方向上往复地位移，第二功率平均s至驱动第二Y方向的Y方向移动单元在Y方向上往复运动，一第二Y方向移动装置的驱动器在Y方向上往复移动的移动板。

  X方向发展移动电子装置主要包括X方向进行移动板，X方向以及移动板与该运动板通过分析轴承生产活动可以连接，X方向中国移动板的下端面上没有设置有滑轨和滑槽，该滑轨沿该对位模组固定板上的第一时间固定板滑槽往复移动，该轴承的上方设置有滑块，该滑块沿该滑槽往复移动。

  所述第一Y方向移动装置包括第一Y方向移动板，所述第一Y方向移动板通过轴承与移动板连接，所述第一方向移动板的下端表面设置有滑轨和滑槽。 滑块沿滑槽往复运动。

  第二 y 向移动装置包括第二 y 向移动板，第二 y 向移动板通过轴承与移动板活动连接，第二 y 向移动板的下端面设有滑轨和滑槽，滑轨沿对位模块固定板上的第三固定板滑槽往复运动，滑块位于轴承上方，滑块沿滑槽往复运动

  X方向的功率的装置包括一个马达和一个偏心轮固定地连接至所述马达，所述轮板和X方向之间的偏心运动被弹簧连接，所述偏心的弹簧，以消除X轴之间的间隙方向移动板。

  第一Y方向发展动力系统装置主要包括控制电机和与该电机进行固定连接的偏心轮，该偏心轮与第一Y方向以及移动板之间可以通过一个弹簧连接，该弹簧消除该偏心轮与第一Y方向移动板之间的间隙。

  第二Y方向功率的装置包括一个马达和一个偏心轮固定地连接至所述马达，所述偏心轮和第二Y方向移动板通过弹簧之间的弹簧连接消除偏心板和第二方向Y之间的移动间隙。