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XXY精密对位平台
吉嘉 XXY精密对位平台,也称为UVW精密对位平台或XY Theta平台,该平台属于吉嘉三轴平台系列,具有高分辨率,高重复定位精度,广泛应用于光学测量仪器,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,平板覆膜机,数控设备,研磨设备,晶圆对准设备,曝光设备,复合机等。
产品描述
XXY对准平台,也称为XYθ(Theta)平台,专为高精度对位设备而设计。它在XY平面中移动并围绕XY平面的中心旋转。XXY对位平台通常称作XYθ平台或UVW平台。
吉嘉提供11种型号的XXY对位平台,并提供三种精度可供用户选择,分别为H级2μm,S级5μm及N级10μm。全系列行程范围:±2.5~±5 mm。水平负载范围:20KG~100KG。
为了满足用户的不同设计需求,我们提供了空心和实心两种设计。由于采用三轴紧凑设计,大大降低了整体高度,使平台更轻,更薄,有效节省空间。
XXY 运动模式
*A、B、C 为旋转轴,D 为从动轴
XXY精密对位平台全系列型号
系列 | 尺寸 | 行程 | 动作角度 | 荷重 | 精密等级 (可选) | ||
工作台尺寸 (mm) | 高度(mm) | 底座尺寸(mm) | |||||
XXY100-45-120-X | 100X100 | 45 | 120X120 | ±2 | ±5.5° | 5 | H 级:2μm S 级:5μm |
XXY160-55-170-X | 160×160 | 55 | 170×170 | ±5 | ±5° | 30 | |
XXY160-70-170-X | 160×160 | 70 | 170×170 | ±5 | ±3° | 30 | |
XXY200-60-210-X | 200×200 | 60 | 210×210 | ±5 | ±3° | 30 | |
XXY200-75-210-X | 200x200 | 75 | 210×210 | ±5 | ±2.5° | 30 | |
XXY250-62-310-X | 250x250 | 62 | 310x310 | ±5 | ±2.5° | 30 | |
XXY250-95-250-X | 250x250 | 95 | 250x250 | ±5 | ±2° | 160 | |
XXY300-100-300-X | 300x300 | 100 | 300x300 | ±7.5 | ±2.5° | 160 | |
XXY350-100-350-X | 350x350 | 100 | 350x350 | ±7 | ±2.5° | 160 | |
XXY400-100-400-X | 400x400 | 100 | 400x400 | ±7 | ±2.5° | 160 | |
XXY450-105-450-X | 450x450 | 105 | 450x450 | ±7 | ±2° | 160 | |
XXY500-105-500-X | 500x500 | 105 | 500x500 | ±7 | ±2° | 160 | |
XXY500-125-500-X | 500x500 | 125 | 500x500 | ±12 | ±3° | 300 | |
XXY550-130-550-X | 550x550 | 130 | 550x550 | ±12 | ±3° | 30 | |
XXY600-130-600-X | 600x600 | 130 | 600x600 | ±12 | ±3° | 300 | |
XXY650-105-650-X | 650x650 | 105 | 650x650 | ±7 | ±1.2° | 160 | |
XXY650-130-650-X | 650x650 | 130 | 650x650 | ±12 | ±2° | 300 | |
XXY750-135-750-X | 750x750 | 135 | 750x750 | ±12 | ±2° | 300 | |
XXY850-135-850-X | 850x850 | 135 | 850x850 | ±12 | ±1.5° | 300 | |
XXY1000-140-1000-X | 1000x1000 | 140 | 1000x1000 | ±12 | ±1.5° | 300 | |
XXY1200-140-1200-X | 1200x1200 | 140 | 1200x1200 | ±12 | ±1.2° | 300 |
订货代码范例 1:XXY160-55-170-H 订货代码范例 2:XXY550-105-650-S
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XXY精密对位平台的应用场合
XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,平板覆膜机,数控设备,研磨设备,晶圆对准设备,曝光设备,复合机等。
XXY精密对位平台的安装方法及注意事项